基板处理:
Zui大基板尺寸(XxY):609.6mmx508mm(24”x20”)
Zui小基板尺寸(XxY):50.8mmx50.8mm(2”x2”)
基板厚度尺寸:0.2mm(0.008")至5.0mm(0.20”),
Zui大基板重量:4.5kg(9.92lbs)
基板边缘间隙:3.0mm(0.118")
底部间隙:12.7mm(0.5")标准,可配置25.4mm(1.0”)
基板夹持:固定顶部夹紧,工作台真空,EdgeLoc(边缘锁定)(选件)
基板支撑方法:工作台真空,磁性顶针,真空顶针,支撑块,可选项专用夹具(较少工具)或者可选项Grid-Lok